無(wú)塵車間潔凈室高效過(guò)濾器的檢漏說(shuō)明：
(使用儀器：檢漏儀和塵埃離子計(jì)數(shù)器）
１、對(duì)于安裝于高效過(guò)濾器在無(wú)塵車間潔凈室送、排風(fēng)末端的高效過(guò)濾器，應(yīng)用掃描法進(jìn)行過(guò)濾器安裝邊框和全斷面檢漏。掃描法有檢漏儀法（光度計(jì)法）和采樣量最小為１Ｌ/ｍｉｎ的粒子計(jì)數(shù)器法兩種。對(duì)于超高效過(guò)濾器，掃描法有凝結(jié)核計(jì)數(shù)器法和激光粒子計(jì)數(shù)器法兩種。

２、無(wú)塵車間潔凈室高效過(guò)濾器檢漏儀法檢漏
（１）被檢漏過(guò)濾器必須已測(cè)過(guò)風(fēng)量，在設(shè)計(jì)風(fēng)速的80％～120％之間運(yùn)行。
（２）在同一送風(fēng)面上安有多臺(tái)過(guò)濾器時(shí)，在結(jié)構(gòu)上允許的情況下，宜用每次只暴露1臺(tái)過(guò)濾器的方法進(jìn)行測(cè)定。
（３）當(dāng)幾臺(tái)或全部過(guò)濾器必須同時(shí)暴露在氣溶膠中時(shí)，為了對(duì)所有過(guò)濾器造成均勻混合，宜在風(fēng)機(jī)吸入端或這些過(guò)濾器前方支干管中引入檢漏用氣溶膠，立即在受檢過(guò)濾器的正前方測(cè)定上風(fēng)側(cè)濃度。

（４）對(duì)于高效過(guò)濾器，當(dāng)檢漏儀表為對(duì)數(shù)刻度時(shí)，上風(fēng)側(cè)氣溶膠濃度應(yīng)超過(guò)儀表最小刻度的104倍；當(dāng)檢漏儀表為線性刻度時(shí)，上風(fēng)側(cè)氣溶膠濃度需達(dá)到80～100μｇ/Ｌ。檢漏儀表應(yīng)具有0.001～100μｇ/Ｌ的測(cè)量范圍。
３、無(wú)塵車間潔凈室高效過(guò)濾器粒子計(jì)數(shù)器法檢漏
（１）被檢過(guò)濾器必須已測(cè)過(guò)風(fēng)量，在設(shè)計(jì)風(fēng)速的80％～120％之間運(yùn)行。
（２）在被檢高效過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)測(cè)定大氣塵的微粒數(shù)，以大于或等于0.5μｍ微粒為準(zhǔn)，其濃度必須大于或等于3.5×104粒/Ｌ；若檢測(cè)超高效過(guò)濾器，則以大于或等于0.1μｍ微粒為準(zhǔn)，其濃度必須大于或等于3.5×106～3.5×107粒/Ｌ。
（３）若上風(fēng)側(cè)濃度不符合上項(xiàng)規(guī)定，則應(yīng)引入不經(jīng)過(guò)濾的空氣，如果還達(dá)不到規(guī)定，則不宜用粒子計(jì)數(shù)器法和凝結(jié)核計(jì)數(shù)器法檢漏。檢漏時(shí)將采樣口放在距離被檢過(guò)濾器表面2～3ｃｍ處，以5～20ｍｍ/ｓ的速度移動(dòng)，對(duì)被檢過(guò)濾器整個(gè)斷面、封頭膠和安裝框架處進(jìn)行掃描。

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